1、热破坏法
原理：在燃烧过程中通过氧化和热裂解、热分解最终将有机废气转化为无害物质。
适用范围：低浓度机烃类，可燃物。
优  点：简单易行。
缺  点：成本高，不经济。

2、吸收法
原理：液体吸收剂与废气直接接触而将VOCs转移到吸收剂中
适用范围：大气量、中等浓度的含VOCs废气的处理
优  点：技术成熟，适应性强，去除效率高，费用低，易操作
缺  点：吸收容量有限

3、吸附法
原理：利用比表面积非常大的多孔结构，将VOCs分子截留
适用范围：多应用在苯系物、卤代烃的吸附处理
优  点：去除效率高，净化彻底，能耗低，工艺成熟，易于推广
缺  点：处理设备庞大，流程复杂，吸附剂需再生

4、冷凝法
原理：将废气冷却到低于有机物的露点温度，使有机物冷凝成液滴而从气体中分离出来
适用范围： VOCs含量高、气体量较小的有机废气
优  点：简单易行，投资运行费用低
缺  点：效率低，设备庞大

5、生物过滤
原理：附着在滤料介质中微生物在适宜的环境条件下利用废气中的有机物作为碳源和能源，维持其生命活动，并将有机物氧化分解为CO2、H20和细胞基质的过程
适用范围：低浓度、生物可降解性好的气态污染物
优  点：设备简单，运行费用低、较少形成二次污染
缺  点：不适宜处理高浓度有机废气

6、电晕法
原理：通过沿陡峭、脉冲窄的高压脉电晕放电，在常温常压下获得非平衡等离子体，对有害物质分子进行氧化降解反应
适用范围：降解直链有机物特别是双键化合物
优  点：能达到较好的去除效率，低成本，低费用
缺  点：降解芳烃类较难

7、催化燃烧法
原理：发生一系列的分解、聚合及自由基反应，通过氧化和热裂解、热分解，最终产物是水、二氧化碳等无毒无害物质
适用范围：可应用于高浓度和低浓度的有机废气处理
优  点：应用广泛，设备简单，投资少，操作方便，净化彻底
缺  点：设备成本和运行费用相对较高

8、等离子体分解
原理：利用等离了体的化学作用分解氯氟烃之类难分解气体为无害物的成用
适用范围：用于处理各类污染物，尤其是难消解含卤化合物
优  点：过程所需时间短，设备小
缺  点：设备及运行成本较高

9、光催化降解
原理：通过光催化氧化反应净化消除挥发性有机气体，就是让特定波长的光照射纳米TiO2半导体材料，可以激发出“电子一空穴”对
适用范围：应用于消除半封闭或封闭空间微量有害气体的除臭或杀菌
优  点：有投资少，运行费用低，无二次污染
缺  点：对进气中颗粒物的浓度要求较高

吸收设备
用于VOCs净化的吸收装置，多数为气液相反应器，一般要求效接触面积大，气液湍流程度高，设备的压力损失小，易于操作和维修。VOCs吸收净化过程，通常污染物浓度相对较低，气体量大，因而选用气相为连续相，湍流程度较高，相界面大的如填料塔、板式塔较为合适。填料塔的气液接触时间、气液比均可在较大范围内调节，且结构简单、无二次污染，因而在VOCs吸收净化中应用较广。在吸收塔中，不仅可以吸收VOCs，同时也可消除废气中的粉尘和颗粒物。今后，工业吸收设备将朝着设备制造成本低、能耗低、自动化程度高、管理维护方便的方向发展。